Ugrás a tartalomhoz

Ipari technológiák

Dr. Német Béla (2013)

Pécsi Tudományegyetem

Mikro-megmunkálás protonnyalábbal

Mikro-megmunkálás protonnyalábbal

http://atomki.hu/k+f_innovacio/mems.php

A protonnyalábbal történő mikro-megmunkálás (PBW) „mikro eszközök” létrehozására lehet alkalmas. Ilyen téren az MTA debreceni Atommagkutató Intézet szakembereinek a budapesti Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet munkatársaival együttműködve a világon elsőként sikerült mozgó alkatrészt tartalmazó szilícium eszközt létrehozniuk e módszerrel. A miniatűr gép egy mikroturbina, amely folyadékkal és gázokkal is működtethető. A PBW során különböző anyagokat sugároznak be egy speciális készülékben előállított protonnyalábbal, majd a struktúrát kémiai eljárások segítségével hívják elő: a besugárzással megjelölt területet kioldják az anyagból, vagy az úgynevezett negatív eljárás során a kialakított „gödröket” más anyagokkal töltik fel. Ezzel a módszerrel szilíciumban is lehetséges mikroszerkezeteket létrehozni. A PWB nyalábméret világrekordja jelenleg 20 nanométeres miniatűr megmunkálás.

12.25. ábra - Proton nyalábbal „készült”mikroturbina

Proton nyalábbal „készült”mikroturbina

Az Atommagkutatóban, Debrecenben használt eszközökkel 1-2 milliméteres objektumokat tudnak készíteni. A mikroturbina is ekkora. Ezt az eszközt pedig leginkább mikrolaborokban alkalmazhatják: ezekben minimális vegyszermennyiséggel lehet kísérleteket végrehajtani, ami egyrészt gyorsabbá teszi a folyamatokat, másrészt a drága és sokszor igen reagens vegyületekből kevesebbet kell felhasználni.